Detalls del llibre
- Autor/a Thorsten Lill
- ISBN13 9783527346684
- ISBN10 3527346686
- Pàgines 304
- Any Edició 2021
- Fecha de publicación 21/04/2021
- Idioma Alemany, Francès
Ressenyes i valoracions
Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology (Alemany, Francès)
- De
- Thorsten Lill
- |
- Wiley-VCH (2021)
- 9783527346684



