4.6
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Buch Details
- Autor/in Thorsten Lill
- ISBN13 9783527346684
- ISBN10 3527346686
- Buchseiten 304
- Jahr der Ausgabe 2021
- Fecha de publicación 21/04/2021
- Sprache Deutsch, Französisch
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Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology (Deutsch, Französisch)
- Von
- Thorsten Lill
- |
- Wiley-VCH (2021)
- 9783527346684
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